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微電子的空氣過濾器

日期：2018/4/14瀏覽：907次

沾粘在集成電路上的粉塵會造成斷路、短路，粉塵直接影響產品的成品率。如今，半導體工業(yè)（芯片生產車間）對生產環(huán)境的空氣清潔程度把控是非常嚴格的，對空氣過濾器的要求也十分嚴格。芯片生產車間傳統的通風形式是“大循環(huán)、大流量”，車間的整個頂棚上布滿高效過濾器，整個地面為回風柵板?，F在芯片生產有些車間使用自帶風機的過濾裝置，即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度，只是在運行管理和能耗上有所差異，不論是高效過濾器還是FFU,出廠前都要經過逐臺掃描測試。

當芯片上的線寬小到0.5μm時，上海奕卿科技公司發(fā)現空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害因素；化學污染物的來源有可能是室外空氣、工藝本身、人或裝修材料等；上海奕卿過濾科技有限公司生產的精密濾芯過濾器的過濾技術可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零，你想要多干凈都能達到。

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