超純水（ Ultrapure water ）又稱 UP 水，是指電阻率達(dá)到 18 M Ω *cm （ 25 ℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì)，更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水?？梢杂糜诔儾牧希ò雽?dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等）應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)的制備過(guò)程

超純水處理 : 既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于 18M Ω *cm ，或接近 18.3M Ω *cm 極限值 (25 ℃ ) 。

超純水處理，是一般工藝很難達(dá)到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過(guò)濾、高性能離子交換單元、超濾過(guò)濾器、紫外燈、除 TOC 裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá) 18.25M Ω *cm(25 ℃ ) 。

在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對(duì)作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈 的超純水系統(tǒng)更是高之又高。半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為 4 個(gè)部分，分別為預(yù)處理部分、 RO 部分、電去離子部分和拋光混床部分；在有些半導(dǎo)體廠中， 也有用“陰床 + 陽(yáng)床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對(duì)弱電解質(zhì)的要求而定。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 避免傳統(tǒng)離子再生耗費(fèi)的大量酸堿，對(duì)環(huán)境更友好；

2. 克服傳統(tǒng)離子設(shè)備再生周期相對(duì)較長(zhǎng)；

3. 超濾反洗排水、一級(jí) RO 濃水排水和 CEDI 濃水排水及其回收利用措施，利于節(jié)能減排；

4. 節(jié)約水資源及半導(dǎo)體制造單位的運(yùn)行成本。

產(chǎn)品應(yīng)用

預(yù)處理部分

1. 多介質(zhì)過(guò)濾器 + 活性炭過(guò)濾器 ;

2 . 粗過(guò)濾器 + 超濾裝置。

反滲透部分

反滲透膜

電去離子部分

EDI 模塊和 CEDI 模塊。

拋光混床

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袋式過(guò)濾器

微孔過(guò)濾機(jī)

 

技術(shù)支持：

如何選擇過(guò)濾設(shè)備 —工況調(diào)查表

常見(jiàn)流體的粘度；

常見(jiàn)顆粒物的大小及設(shè)備選型參考；

常見(jiàn)流體化學(xué)適應(yīng)性表；

選擇過(guò)濾精度時(shí)微米和目數(shù)的關(guān)系；

常見(jiàn)管道尺寸對(duì)照表；

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